| 院系、专业、研究方向 | 招生说明 |
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013 精密仪器系 |
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085400 （专业学位） 电子信息 |
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| 01（全日制）超精密技术 | 培养和住宿安排：仅第一学年在清华大学本部；其余学年在四川绵阳中国工程物理研究院，不提供本部住宿。 |
| 02（全日制）智能装备设计与制造 | 培养和住宿安排：仅第一学年在清华大学本部住宿；其余学年在清华大学天津高端装备研究院，不提供本部住宿。 |
| 03（全日制）微系统工程 | 培养和住宿安排：仅第一学年在清华大学本部住宿；其余学年在山东淄博 MEMS 研究院，不提供本部住宿。 |