| 院系、专业、研究方向 | 招生说明 |
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013 精密仪器系 |
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085400 （专业学位） 电子信息 |
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| 01（全日制）超精密技术 | 培养和住宿安排：仅第一学年在清华大学本部；其余学年在广州海格通信集团股份有限公司、北京中国航天系统工程有限公司或其他指定单位，不提供本部住宿。 |
| 02（全日制）微系统工程 | 培养和住宿安排：仅第一学年在清华大学本部住宿；其余学年在其他指定单位，不提供本部住宿。 |
| 03（全日制）工程硕博士培养改革专项 |