| 院系、专业、研究方向 | 招生说明 |
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013 精密仪器系 |
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085400 （专业学位） 电子信息 |
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| 01（全日制）超精密技术 | 培养和住宿安排：仅第一学年在清华大学本部；其余学年在北京中国航天系统工程有限公司或四川绵阳中国工程物理研究院，不提供本部住宿。 |
| 02（全日制）智能装备设计与制造 | 培养和住宿安排：仅第一学年在清华大学本部住宿；其余学年在清华大学天津高端装备研究院，不提供本部住宿。 |
| 03（全日制）微系统工程 | 培养和住宿安排：仅第一学年在清华大学本部住宿；其余学年在山东淄博 MEMS 研究院，不提供本部住宿。 |
| 04（全日制）工程硕博士专项 |